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在全球积极迈向低碳化的进程中,电气化成为了这一转变的核心。新型电气能源架构下,一次能源到终端用户的转换次数显著增加,尽管可再生能源本身是免费的,但每一步转换都会带来能量损失。因此,提高能源转换效率显得尤为重要。在此背景下,碳化硅(SiC)作为功率半导体材料的能效提升技术,正逐渐成为实现高效能源转换的关键。
SiC技术不仅在光伏、储能和数据中心等大功率电源管理领域展现出色的能效表现,还在电动车、高铁动力推进系统以及机器人伺服等领域实现了设备的小型化、低成本和高效节能。这两大市场需求——能效创新与设计创新,正是SiC技术得以广泛应用的原因。随着全球清洁能源需求的增长,SiC的应用场景也在不断扩大,从工业生产到日常出行,处处可见其身影。
英飞凌科技股份公司一直致力于提供更可靠的SiC技术,并倡导“最值得信赖的技术革命”。面对SiC技术日益普及的趋势,英飞凌的目标是成为首选的零碳技术创新伙伴。公司坚信,未来的成功不在于竞争,而在于合作。为此,英飞凌专注于与客户共同创新,携手创造共赢局面。
然而,在推广SiC技术的过程中,即使是资深的研发工程师也常常遇到认知误区。例如,关于SiC MOSFET可靠性的争论中,存在着一个普遍误解:认为平面栅结构简单,单元一致性好,可靠性更高;而沟槽栅结构复杂,底部电场集中,长期可靠性差。实际上,这种观点忽视了SiC材料本身的特性和制造工艺上的差异。
无论是Si还是SiC功率半导体器件,“栅极氧化层”都是影响其可靠性的关键因素之一。由于SiC衬底缺陷、颗粒杂质等因素的影响,SiC MOSFET的栅极氧化层容易出现缺陷,导致器件寿命缩短。相比之下,英飞凌采用的Trench沟槽栅技术通过使用更高的筛选电压来检测并减少氧化层中的缺陷,从而提高了器件的整体可靠性。这一点是平面栅难以达到的,因为平面栅的栅极氧化层更薄,限制了其承受更高筛选电压的能力。
此外,由于SiC材料各向异性的特性,使得水平方向的氧化层界面缺陷密度远高于垂直方向。这就意味着,采用沟槽栅技术可以利用垂直方向界面缺陷较少的优势,实现更高的性能和可靠性。形象地说,如果将电子流动比作汽车行驶,那么SiC采用沟槽栅技术就像是在颠簸路况下挖掘了一条地下高速隧道,能够更有效地避免因表面缺陷造成的阻碍,保证电流顺畅通过。
虽然追求更低导通电阻看似有利于提升单一电气参数的表现,但如果缺乏对SiC材料物理底层的深刻理解和科学的筛选方法,可能会导致实际应用中的可靠性问题。英飞凌凭借超过40年的沟槽栅技术积累和对沟槽底部电场均匀设计的深入研究,在SiC领域占据了可靠性的领先地位,为推动全球零碳化进程提供了坚实的技术支撑。